ماسک‌های نانویی برای لیتوگرافی در صنعت نیمه‌هادی تولید می‌شود
تاریخ انتشار: ۵ دی ۱۴۰۲ | کد خبر: ۳۹۳۷۵۹۴۱
یک شرکت ژاپنی با همکاری مرکز نوآوری نانوالکترونیک IMEC بلژیک در حال کار روی ارائه نسل بعدی ادوات لیتوگرافی است. این همکاری راهبردی در مسیر تجاری‌سازی یکی از مؤلفه‌های اصلی سامانه‌های لیتوگرافی نیمه‌هادی با پرتوهای فرابنفش شدید (EUV) است.
به گزارش ایسنا، در این پروژه مشترک قرار است روی غشاهای شفاف و نازک EUV تمرکز شود که نوعی ماسک EUV در برابر آلودگی است.
بیشتر بخوانید:
اخباری که در وبسایت منتشر نمی‌شوند!
با افزایش نیاز به ایجاد محصولاتی با ابعاد کوچکتر و متراکم‌تر در مدارهای الکترونیکی، لیتوگرافی EUV به شدت مورد توجه شرکت‌ها قرار گرفته است.
بازار تجهیزات لیتوگرافی EUV تا حد زیادی در اختیار شرکت هلندی ASML است که ماشین‌آلات پیشرفته و پیچیده‌ای را تولید کرده و به فروش می‌رساند. این دستگاه‌ها پرتوهای فرابنفش ۱۳٫۲ نانومتری تولید کرده که این کار با استفاده از شلیک پالس‌های مکرر لیزر CO2 بر روی قطرات قلع مذاب انجام می‌شود و باعث ایجاد پلاسمایی می‌شود که تابش فرابنفش شدید ایجاد می‌کند.
تابش EUV از طریق اپتیک خاصی به یک اسکنر برای الگوبرداری لیتوگرافی در مقیاس نانومتر منتقل می‌شود. اندازه بسیار کوچک از ویژگی‌های ساختارهای ایجاد شده توسط این روش است، هر چند که آلودگی می‌تواند مشکلاتی برای کاربر ایجاد کند و هزینه گزافی را به تولیدکنندگان تحمیل کند. در نتیجه نیاز به ماسک‌های محافظ وجود دارد که شرکت ASML برخی از ماسک‌های مورد نیاز شرکت‌ها را تولید می‌کرد.
در این پروژه مشترک، دو شرکت ژاپنی و بلژیکی روی ارائه نسل جدید ماسک‌های حاوی نانولوله‌کربنی کار می‌کنند که می‌تواند نانولیتوگرافی با کیفیت بالا را امکان‌پذیر کند. براساس اطلاعات منتشر شده توسط این گروه، ماسک‌های حاوی نانولوله‌کربنی می‌تواند انتقال پرتو تا ۹۴ درصد را تضمین کرده و مقادیر بسیار کمی از پرتوها منعکس می‌شوند.
به نقل از ستاد نانو، این ماسک‌های نانویی می‌توانند در برابر سطح قدرت EUV فراتر از ۱۰۰۰ W قرار بگیرند. این ماسک‌ها نه تنها در برابر تابش فرابنفش شدید در لیتوگرافی شفاف بوده، بلکه به طول موج‌های فرابنفش عمق (DUV) که در برخی از سیستم‌های بازرسی و کنترل کیفیت نتایج لیتوگرافی استفاده می‌شود، قابل استفاده است.
انتهای پیام
منبع: ایسنا
کلیدواژه: ماسک نانویی صنعت نیمه هادی ماسك شرکت های دانش بنیان معاونت علمي و فناوري رياست جمهوري دکتر روح الله دهقانی فیروزآبادی هوش مصنوعی ماسک ها
درخواست حذف خبر:
«خبربان» یک خبرخوان هوشمند و خودکار است و این خبر را به‌طور اتوماتیک از وبسایت www.isna.ir دریافت کرده‌است، لذا منبع این خبر، وبسایت «ایسنا» بوده و سایت «خبربان» مسئولیتی در قبال محتوای آن ندارد. چنانچه درخواست حذف این خبر را دارید، کد ۳۹۳۷۵۹۴۱ را به همراه موضوع به شماره ۱۰۰۰۱۵۷۰ پیامک فرمایید. لطفاً در صورتی‌که در مورد این خبر، نظر یا سئوالی دارید، با منبع خبر (اینجا) ارتباط برقرار نمایید.
با استناد به ماده ۷۴ قانون تجارت الکترونیک مصوب ۱۳۸۲/۱۰/۱۷ مجلس شورای اسلامی و با عنایت به اینکه سایت «خبربان» مصداق بستر مبادلات الکترونیکی متنی، صوتی و تصویر است، مسئولیت نقض حقوق تصریح شده مولفان در قانون فوق از قبیل تکثیر، اجرا و توزیع و یا هر گونه محتوی خلاف قوانین کشور ایران بر عهده منبع خبر و کاربران است.
خبر بعدی:
شکوفایی صنعت همدان با ایجاد بندر خشک
به گزارش خبرنگار استانی ایسکانیوز از همدان، مصطفی حقیقی با بیان اینکه ۱۱۰۰ هکتار از منطقه ویژه اقتصادی جهان‌آباد دارای سند است، اظهار کرد: منطقه ویژه اقتصادی جهان‌آباد ۱۸۸۰ هکتار وسعت دارد که نزدیک ۱۱۰۰ هکتار آن سند گرفته و ۷۵۰ هکتار از این منطقه دارای طرح جامع است.
وی با بیان اینکه ۱۰۰ هکتار از اراضی منطقه ویژه اقتصادی جهان‌آباد دیوارکشی شده است، تصریح کرد: ۱۰۰ هکتار از اراضی منطقه اقتصادی جهان‌آباد دیوارکشی شده و آماده واگذاری است که طی یک ماه آینده شروع به انعقاد قرارداد واگذاری به سرمایه‌گذاران خواهیم کرد.
حقیقی با اشاره به اینکه پتروشیمی ابن‌سینا پیشرفت قابل ملاحظه‌ای دارد، ادامه داد: ۱۰۰ هکتار از اراضی این منطقه به پتروشیمی ابن‌سینا واگذار شده که تاکنون ۱۱ درصد پیشرفت دارد و در بخش عملیات اجرایی ۳۰ درصد پیشرفت داشته است.
وی با بیان اینکه به دنبال این هستیم در منطقه ویژه اقتصادی شرایط بندرگاهی را ایجاد کنیم، افزود: چند نمونه بندرخشک در کشور وجود داشته که موفق بوده و ما نیز به دنبال ایجاد بندرخشک در این منطقه هستیم که از این طریق امور گمرکی تسهیل شود.
مدیرعامل شرکت شهرک‌های صنعتی استان همدان با اشاره به اینکه مطالعات بندرخشک انجام شده است، یادآور شد: در مرحله اول ۲۰۰ هکتار زمین برای ایجاد بندرخشک دیده شده اما قابل توسعه است.
انتقال ۳ میلیون مترمکعب پساب به منطقه ویژه اقتصادی
این مسؤول درباره تأمین آب منطقه اقتصادی جهان‌آباد، با بیان اینکه دو منبع برای تأمین آب جهان‌آباد در نظر گرفته شده است، گفت: به منظور انجام مقدمات کار چاهی با ظرفیت ۱۰ لیتر در ثانیه حفر شده بود که این میزان آب کفاف صنایع کم‌آب‌بر را هم نمی‌دهد بنابراین به دنبال تأمین آب مورد نیاز از طریق پساب فاضلاب همدان هستیم. حقیقی تصریح کرد: خط انتقال یک میلیون مترمکعب پساب تصفیه شده فاضلاب همدان تا شهرک صنعتی ویان اجرا شده است و به واحدهای فولادی این منطقه پساب داده می‌شود.
وی با بیان اینکه برای انتقال پساب به منطقه ویژه اقتصادی جهان‌آباد ۱۶ کیلومتر خط لوله باید اجرا شود که ظرفیت انتقال سه میلیون مترمکعب پساب به این منطقه را دارد، خاطرنشان کرد: پیش‌بینی می‌کنیم این خط تا پایان سال ۱۴۰۳ به نتیجه خواهد رسید.
تملک ۳۰۰ هکتار زمین برای شهرک‌ها و نواحی صنعتی
مدیرعامل شرکت شهرک‌های صنعتی استان همدان با بیان اینکه ۳۰۰ هکتار زمین در سال ۱۴۰۲ تملک شده است، تأکید کرد: برای نخستین‌بار دو مصوبه برای ایجاد شهرک صنعتی در استان گرفته شده و مقدمات این دو شهرک آغاز شده به طوری که شهرک صنفی بوعلی ۴ در پهنه ۷۵ هکتاری و شهرک عمومی در پهنه ۲۰۰ هکتاری تملک شده و کارهای اجرایی آن شروع شده است.
حقیقی با تأکید بر اینکه در ملایر ۵۰۰ هکتار برای ایجاد شهرک صنعتی به نتیجه رسیده و مقدمات آن فراهم شده است و به طور قطع امسال به سرانجام خواهد رسید، اظهار کرد: در تأمین برق و انرژی نیز ۶۰ مگاوات برق به نواحی و شهرک‌های صنعتی استان اضافه شده است.
انتهای خبر/
کد خبر: 1229221 برچسب‌ها دانشگاه آزاد همدان همدان
جزئیات جدید از دزدیده شدن دختر ۴ ساله کلالهای؛ کارگر ۳۵ ساله قصد فروش یسنا را داشت